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(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆
化学性质用途 专题
| 中文名称 | (环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆 |
|---|---|
| 中文同义词 | (环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆;环戊二烯基三(二甲氨基)锆;三(二甲胺基)环戊二烯基锆 |
| 英文名称 | CpZr(NMe2)3 CpTDMAZ |
| 英文同义词 | CpZr(NMe2)3 CpTDMAZ;CPTDMAZ2;Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium;(cyclopentadienyl)zirconium tris(dimethylamide);Tris(dimethylamino)cyclopentadienylzirconium;Cyclophentadienyl trimethoxy zirconium (Ⅳ）;Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium（CpZr）;ZyALD-CpTDMAZ |
| CAS号 | 33271-88-4 |
| 分子式 | C11H18N3Zr |
| 分子量 | 283.51 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | 化工原料 |
| Mol文件 | 33271-88-4.mol |
| 结构式 |  |
(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆 性质
| EPA化学物质信息 | Zirconium, (.eta.5-2,4-cyclopentadien-1-yl)tris(N-methylmethanaminato)- (33271-88-4) |
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(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆 用途与合成方法
化学性质
环戊二烯基三(二甲氨基)锆在常温下是液体，是对空气和水汽非常敏感的化合物，能溶于烃类、四氯化碳等有机溶剂中，不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性。
用途
环戊二烯基三(二甲氨基)锆可用于CVD或ALD技术以制备锆氧化物薄膜。
粤公网安备44196802000105号
400-6226-992