(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴
概述应用 专题
| 中文名称 | (3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴 |
|---|---|
| 中文同义词 | (3,3-二甲基-1-丁炔)羰基二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴;(3,3-二甲基-1-丁烯)二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)二钴六羰基 |
| 英文名称 | (3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL |
| 英文同义词 | Dicobalt hexacarbonyl t-butylacetylene, 99%;(3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL;(3,3-Dimethyl-1-butyne)dicobalthexacarbonyl,98%;Cobalt, hexacarbonyl[M-[(1,2-h:1,2-h)-3,3-diMethyl-1-butyne]]di-, (Co-Co) (9CI);(3,3-Dimethyl-1-butyne)dicobalt hexacarbonyl, 98% CCTBA;CCTBA;-1-butyne)dicobaL;t hexacarbonyL |
| CAS号 | 56792-69-9 |
| 分子式 | C12H10Co2O6 |
| 分子量 | 368.07 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | 有机贵金属催化剂;metalocene |
| Mol文件 | 56792-69-9.mol |
| 结构式 |  |
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴 性质
| 沸点 | 52°C / 0.8 |
|---|---|
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 深红 |
| 敏感性 | air sensitive |
| CAS 数据库 | 56792-69-9 |
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴 用途与合成方法
概述
（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴（CCTBA）是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一。
应用
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体，特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用，具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下，钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。
安全信息
MSDS信息
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴 上下游产品信息
上游原料
3,3-二甲基-1-丁炔
