乙硅烷
化学性质用途生产工艺 专题
| 中文名称 | 乙硅烷 |
|---|---|
| 中文同义词 | 乙硅烷;二矽烷 |
| 英文名称 | DISILANE |
| 英文同义词 | DISILANE;DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE;disilicoethane;Si2H6;Silicoethane;DISILANE, 99.9+%;B silane |
| CAS号 | 1590-87-0 |
| 分子式 | H6Si2 |
| 分子量 | 62.22 |
| EINECS号 | 216-466-5 |
| 相关类别 | 硅烷试剂;电子特气;半导体;Chemical Synthesis;CVD and ALD Precursors by Metal;Materials Science;Micro/NanoElectronics;Specialty Gases;Synthetic Reagents;Vapor Deposition Precursors;Chemical Synthesis;Compressed and Liquefied GasesVapor Deposition Precursors;Gases;Precursors by Metal;Synthetic Reagents |
| Mol文件 | 1590-87-0.mol |
| 结构式 |  |
乙硅烷 性质
| 熔点 | -132°C |
|---|---|
| 沸点 | -14,5°C |
| 密度 | 0,686 g/cm3 |
| 闪点 | <10°C |
| 溶解度 | 与H2O、ctc、氯仿反应；溶于乙醇、苯 |
| 形态 | 无色气体 |
| 颜色 | 无色气体；易燃 |
| 比重 | 0.686 |
| 水溶解性 | soluble CS2, ethanol, benzene [MER06] |
| 水解敏感性 | 10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required |
| Merck | 13,3391 |
| 稳定性 | 自燃。与氧化剂和卤素急剧地发生反应。可能与空气形成爆炸性混合物。 |
| InChIKey | PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N |
| CAS 数据库 | 1590-87-0 |
| EPA化学物质信息 | Disilane (1590-87-0) |
乙硅烷 用途与合成方法
化学性质
乙硅烷是一种有毒的化合物，在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似，都是无色易燃的气体，但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱，因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源，只要经过简单的化学反应就可以得到氢。
用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
生产工艺
硅化镁法
Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2
反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它们精制分离后得乙硅烷。
还原法
用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。
甲硅烷无声放电法
甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
生产方法
1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。
2. 甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
3. 采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。
安全信息
| 危险品标志 | F,Xn |
|---|---|
| 危险类别码 | 17-20/21-36/37/38-42 |
| 安全说明 | 16-24-26-36/37/39 |
| 危险品运输编号 | 2203 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | No |
| 危险等级 | 2.1 |
MSDS信息
乙硅烷 上下游产品信息
上游原料
硅烷
