高速扫描电子显微镜
HEM6000
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
应用案例
大规模成像
规格书
关键参数
分辨率 1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE；
1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
加速电压 100V~6kV(减速模式)6kV~30kV(非减速模式)
放大倍率 66~1,000,000x
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
物镜类型 浸没式电磁复合物镜
样品装载系统
真空系统 全自动控制，无油真空系统
样品监控 样品仓监控水平摄像头；换样仓监控垂直摄像头
样品最大尺寸 直径4英寸
样品台
类型 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
行程 X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；
重复定位精度 X轴：±0.6um；Y轴：±0.3um
换样方式 全自动控制
换样时间 ＜15min
换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理
驻点时间 10ns/pixel
图像采集速度 2*100Mpixel/s
图像大小 8K*8K
探测器和扩展
标配
镜筒内混合电子探测器
选配
低角度背散射电子探测器
镜筒内高角度背散射电子探测器
压电驱动样品台
高分辨大场模式
样品仓等离子清洗系统
6英寸样品装载系统
主动减震台
AI降噪；大图拼接；三维重构
软件
语言 中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
服务
扫描电子显微镜实验室
我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。
