产品优势
超高分辨率成像,达到了突破性的0.6nm@15kV和1.0nm@1kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求
应用案例
产品参数
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