国仪量子低电压高分辨场发射扫描电镜SEM5000

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完

成高分辨率拍摄任务。

电子枪类型   肖特基场发射电子枪

加速电压      20V~30kV

分辨率       1nm@15kV,SE   1.5nm@1kV,SE  0.8nm@30KV,STEM

样品台       五轴全自动样品台

放大倍率     1~2,500,000x

产品特点

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

高压隧道技术(SuperTunnel)，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

规格参数

电子光学系统

分辨率        1.0nm@15kV,SE

             1.5nm@1kV,SE

              0.8nm@30KV,STEM

放大倍率      1x～2,500,000x

加速电压      20V～30kV

电子枪类型     肖特基场发射电子枪

探测器及拓展

标配          镜筒内高角度电子探测器

             侧向二次电子探测器

选配          插入式背散射电子探测器

             STEM自动插入式扫描透射探测器
             样品交换仓
             高速束闸和电子束曝光
             EDS能谱仪
             EBSD背散射衍射
             EBIC电子束感生电流
             CL阴极荧光
             高低温原位拉伸台
             纳米机械手
             大图拼接

             轨迹球&旋钮控制板

样品室

真空系统      全自动控制，无油真空系统

摄像头        双摄像头

              (光学导航+样品仓内监控)

样品台配置行程

              X:120mm

              Y:115mm

              Z:50mm

              R:360°

              T:-10°～+90°

软件

语言          中文

操作系统       Windows

导航          光学导航、手势快捷导航

自动功能       自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散