仪器简介：
JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪，可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。
技术参数：
FIB分辨率:5nm,30kV
SEM分辨率:
FIB束流：最大90nA
SEM束流：最大300nA
气体输入系统x1-3
主要特点：
监控、切割、组装和三维图像重构连续操作
2大束流，最大90nA
3.提供空前稳定的图像
4.气体注入系统用于刻蚀和沉积
5.最大装样150mm
6.气锁式样品交换
7.五轴全对中样品台
8.多个样品分析接口
9.三维图像、能谱、EBSD
