XY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。它可为进行精确的纳米级样品扫描，提供基本的面外高效正交运动和高响应能力。ParkNX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。
2. 高速Z轴扫描器，扫描范围达15 μm
借助高强度压电叠堆和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴最大扫描范围可从标准的15 μm扩展至30 μm（可另选Z扫描头）。
3. 低噪声XYZ位置传感器
行业领先的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。
4.驱动XY轴样品台XY轴样品台是驱动化的，以便于将样品导航并定位到扫描区域。这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um（使用微步）
5. 自动步进扫描 借助驱动样品台，步进扫描可编程多区域成像，以下是它的工作流程：
1. 扫描成像2. 抬起悬臂3. 移动驱动平台到设定位置4. 进针5. 重复扫描 该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求，从而很大程度上提高生产力。操作方便的样品台
6. ParkNX10的独特头部设计可使用户从侧面操作样品和探针，用户在样品台上可放置的最大样品体积为50mm× 50mm×20mm（长×宽×高）。 7. 高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高。
8. 结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜超长工作距离的定制物镜（工作距离50mm, 数值孔径0.21，分辨率1.0 μm ）带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。
9. 滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。
10. 垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。用户通过软件界面进行操控，由高精度步进电机带动，即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。
多种选择Option
NX系列有适合大众化的各种扫描模式，能满足您的所有研究需求。
标准成像
-真正的非接触模式 AFM
-接触模式AFM
-侧向力显微镜 （LFM)
-相位成像
-间歇式（轻敲式）AFM
电性能
-导电AFM
-I-V谱线
-扫描开尔文探针显微镜 （SKPM/KPM)
-高电压SKPM
-扫描电容显微镜 （SCM)
-扫描电阻显微镜 （SSRM)
-扫描隧道显微镜 （STM)
-扫描隧道光谱 （STS)
-时间分辨的光电流测绘 （Tr-PCM)
MagneticProperties 磁性能
-磁力显微镜 （MFM)
-可调外加磁场MFM
化学性能
-功能化探针的化学力显微镜
-电化学显微镜(EC-STM和EC-AFM)
热性能
-扫描热感显微镜(SThM)
光学性能
-探针增强拉曼光谱 (TERS)
-时间分辨的光电流测绘 （Tr-PCM)
介电/压电性能
-静电力显微镜 （EFM)
-动态接触式静电力显微镜（DC-EFM)
-压电力显微镜 （PFM)
-高电压PFM
机械性能
-力调制显微镜 （FMM)
-纳米压痕
-纳米刻蚀
-高电压纳米刻蚀
-纳米操纵
-压电力显微镜 （PFM)
力测量
-力－距离（F-D)光谱
-力－体积成像
-热噪声法标定弹性系数
1.高样品 1.5 μm台阶高度
扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图
2.平样品 蓝宝石晶圆的原子台阶
0.3nm台阶高度，扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图
3.硬样品 钨膜
扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图
第一张图，
扫描第15张图之后
4. 软样品 胶原原纤维
扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图
形貌图，相图
-----------------------------------------------------------------------------------
技术参数：
扫描器
Z扫描器
柔性引导高推动力扫描器
扫描范围：15μm(可选 30μm)
分辨率：0.015nm
位置探测器噪声：0.03nm(带宽:1kHz)
共振频率：>9kHz （通常10.5
