原理：用超越激光衍射极限的系统来研究样品
NTEGRA Spectra 在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。
支持两种不同的SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。
所有SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等。
SNOM刻蚀：矢量式，光栅式。
NTEGRA Spectra 采用开放式光路设计，使其能够与多种光学仪器进行联用。应用领域包括微区化学成分分析、力学性能、介电性质和光学的反射、透射、传播性能的、碳基化合物、生物材料、半导体等，联用测量的空间研究等等。能够分析各种来源的复杂样品，包括聚合物分辨率已经接近纳米尺度。
技术参数
扫描方式
样品扫描
针尖扫描
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样品尺寸
最大直径40mm
最大高度15mm
最大直径100mm
最大高度15mm
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样品重量
最大100g
最大300g
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XY样品定位
5×5mm
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定位精度
分辨率：5μm灵敏度：2μm
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扫描范围
100×100×10μm
3×3×2.6μm
100×100×10μm
50×50×5μm
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最大200×200×20μm(DualScanTM模式)
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非线性度，XY
（带有闭环传感器）
=0.1%
=0.15%
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Z方向噪音水平（1000Hz带宽时的RMS）
带有传感器
0.04nm（典型值）
=0.06nm
0.06nm（典型值）
=0.07nm
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不带传感器
0.03nm
0.05nm
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XY方向噪音水平（200Hz带宽时的RMS）
带有传感器
0.2nm（典型值）
=0.3nm(XY 100μm)
0.1nm（典型值）
=0.2nm(XY 50μm)
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不带传感器
0.02nm(XY 100μm)
=0.001nm(XY 3μm)
0.01nm (XY50μm)
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线性度评价误差（带有传感器）
±0.5%
±1.2%
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光学观察系统
光学分辨率
1μm
3μm
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视野
4.5-0.4mm
2.0-0.4mm
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连续变焦
是
是
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