布鲁克QUANTAXWDS波谱仪

用于SEM的QUANTAXWDS由XSense波长分散光谱仪组成，在所有平行光束WDS系统中实现优秀的分辨率。与基于罗兰圆的WDS光谱仪相比，QUANTAXWDS由于平行光束设计，可以实现大固体角采集，为低能X射线提供更高的信号强度

WDS通过抑制背底辐射的独特二次光学器件进一步增强信噪比

QUANTAXWDS配备最好的掠入角光学元件和多达六个分析晶体，对70eV以上的低能量X射线具有卓越的灵敏度

巧妙的自动光学对准系统和独特的压力控制比例计数器可确保准确且可重复的结果

灵活适应WDS或EDS端口