扫描电子显微镜（SEM）的微区X射线荧光（Micro-XRF）技术是与传统能量分散光谱（EDS）能力补充的无损分析技术。这种分析技术对于未知样品中元素成分的表征非常重要，而未知样品的尺寸可以从厘米尺寸的不均匀样品到微米尺寸的颗粒
X射线激发源为微量元素的检测带来了更高的灵敏度（对于某些元素，检出限可低至 10ppm）。同时，光谱范围可以拓延（高达40keV）以及探测深度可以更深
配备X射线管，结合微聚焦X射线光学器件，可产生 30μm的小束斑和高强度通量
模块化基于压电的样品台，专门设计用于安装在现有SEM样品台上，使大面积高速元素X射线面分析"飞一样地"运行， 速度高达4毫米/秒。这使得在50x50mm（或更大）的样本面积上采集X射线面分布数据成为可能。同时，轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的X射线数据也纳入快速且用户友好的工作流中
X射线激发的样品深度更深，这让多层系统的表征成为可能。1nm到 高达40μm 的薄膜样品均可以分析，而这是用电子束源激发无法实现的
