主动隔振台-主动式隔振台-隔震台-Herz
为各类透射式电子显微镜(TEM)主动隔振台、扫描式电子显微镜(SEM)主动式隔振台、发射式电子显微镜主动隔振台、探针显微镜主动式隔振台、扫描隧道显微镜隔震台、原子力显微镜（AFM）主动隔振台、横向力显微镜主动式隔振台。白光干涉仪隔震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台！
产品特点主动隔振频率：1Hz-200Hz被动隔振频率>200Hz
5-20ms的响应时间
安装简单，容易使用
稳定性高，能无故障连续使用多年
紧凑、模块化的多功能设计
多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用
产品应用
SEM TEMUHV-SPM 光刻 光谱测量 高精度测量其他高精密仪器
性能优势
系统主动检测输入振动并动态消除
六个空间方向的自由隔振
系统内部反馈回路抑制所有机械共振
低频隔振性能优秀
无低频共振、无空气要求
技术参数
型号：AVI-400M系统配置：独立隔振装置&控制装置主动隔振范围：大致为0.5Hz-200Hz被动隔振范围:大致为200Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。LEDs指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288x720x112.5Hmm控制器尺寸:448x286x143Hmm隔振单元重量:26kg负载能力:800kg(同等/低重心)输入电压:90-125VAC/200-250VAC,50-60Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2μm/N温度范围：5℃-40℃相对湿度：10-90%(5-30℃)?10-60%(30-40℃)室内/室外使用：仅用于室内
应用案例：
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