艾博AL-1600手套箱离子镀膜仪

  3、颗粒度更小（3nm左右）；
  4、溅射到样品表面能量低，对样品损伤小；（适用温度敏感性高的样品）
  5、可以溅射各种固体靶材（如各种金属、陶瓷、碳等）；
  6、控制精度高，实验结果精准可控重复性高；
  7、在同一真空腔内，可实现清洗和镀膜，降低污染样品造成的数据偏差；
  8、加入特殊气体，可进行反应离子束刻蚀；
  9、可实现的功能有：等离子清洗、镀膜等；
  10、数字化自动控制系统。