【SuPro】小型磁控离子溅射仪MiniCoater

      采用旋片泵快速产生一个<2Pa的真空压强，通常抽真空时间小于1分钟。采用磁控溅射技术，以大幅度减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于灯丝或台式SEM电镜样品的喷金、喷铂等贵金属镀膜用途。外型紧凑，触摸屏控制，即插即用。

       选配旋转/偏转样品台，适用于3D立体和空隙样品内/外表面均匀镀膜需求。