Q300TTPlus–三靶溅射镀膜仪

    Q300TTPlus–三靶溅射镀膜仪，适用于200mm直径的试样

    Q300TTPlus是一种大腔室涡轮泵溅射镀膜系统，非常适合溅射单个直径高达8〃/200mm的大直径试样或多个直径相似的较小试样。非常适合薄膜应用和SEM/FE-SEM应用。它配备了三个溅射头，以确保单个大样本或多个样本的均匀镀膜。