Q150VPlus系列镀膜仪

Q150VPlus系列镀膜仪适用于高真空应用中的超精细导电镀膜

    Q150VPlus针对高真空应用进行了进一步优化，最终真空度优于1×10^-6mbar，同时配置全量程规，能够溅射具有晶粒尺寸更细的金属膜，适用于超高分辨率成像。得益于更低的背景真空，能够有效的从腔室中去除氧气、氮气和水蒸气避免了溅射过程中的化学反应，有效的消除镀层中的杂质或缺陷。能够实现制备低散射高纯度金属膜以及高密度的非晶碳膜等。Q150VPlus提供了Q150TPlus的所有功能，同时具有更精细的晶粒尺寸和更薄的镀层，适用于超高分辨率成像应用。