Q150TPlus系列产品经过系统优化,内置涡轮分子泵,其真空度可降至5x10-5mbar。
Q150TPlus系列镀膜仪有三款型号:
适用金属靶材镀膜(Q150TSPlus)
适用镀碳(Q150TEPlus)选配金属蒸发功能
同时适用金属镀膜及镀碳(Q150TESPlus)
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