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TESCANSOLARISX氙等离子源双束FIB系统
2024-07-13 11:51IP属地 广东00询价
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泰思肯 |
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产品详情
TESCANSOLARISX是一款氙（Xe）等离子超高分辨双束FIB-SEM系统，配置新颖的TriglavTM超高分辨率电子镜筒以及最新款的iFIB+TM离子镜筒，它的超高分辨表征能力和无与伦比的样品制备效率，非常适合于材料、生命及半导体领域分析表征中最具挑战性的大体积三维样品的分析工作。 TESCANSOLARISX配置的TriglavTM超高分辨率电子镜筒，同时使用了全新的TriLensTM三透镜系统以及高效的TriSETM和TriBETM探测器系统，能够提供卓越的表面灵敏度和衬度图像，实现对电子束高敏材料或不导电材料纳米特征的观察。
TESCANSOLARISX是半导体和材料表征中最具挑战性的物理失效分析应用的平台，具有极高的精度和极高的效率。它不但提供了纳米尺寸结构分析所必需的高分辨率和表面灵敏度，为大体积3D样品特性分析保证最佳条件。同时，它还提供非凡的FIB功能，可实现精确、无损的超大面积加工，包括封装技术和光电器件的横截面加工。TESCANSOLARISXXePlasmaFIB-SEM主要优势：
1. 新的Essence软件的用户界面可实现更轻松、更快速、更流畅的操作，包括碰撞模型和可定制的面向应用流程的布局； 2. 新一代Triglav™UHRSEM镜筒具有极佳的分辨率，优化的镜筒内探测器系统在低束流能量下具有卓越的性能； 
