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赛默飞（原FEI）Helios5DualBeam双束扫描电镜
2024-07-13 11:51IP属地 广东00询价
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| 品牌 |
赛默飞 |
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产品详情
Helios5DualBeam【产品描述】
新一代的赛默飞世尔科技Helios5DualBeam具有Helios产品系列业界领先的高性能成像和分析性能。它经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师最广泛的FIB-SEM使用需求。
Helios5DualBeam重新定义了高分辨率成像的标准：最高的材料衬度，最快、最简单、最精确的高质量样品制备，用于S/TEM成像和原子探针断层扫描（APT）以及最高质量的表面下和三维表征。在HeliosDualBeam系列久经考验的性能基础上，新一代的Helios5DualBeam进行了改进优化，所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的最佳运行状态。【技术参数】半导体行业技术参数：
Helios5CXHelios5HPHelios5UXHelios5HXHelios5FX
样品制备与 XHR 扫描电镜成像最终样品制备 (TEM薄片，APT)STEM 亚纳米成像与样品制备|
SEM着陆电压20 eV~30 keV20 eV~30 keV
分辨率0.6 nm@15 keV1.0 nm@1 keV0.6 nm@2 keV0.7nm@1 keV1.0nm@500 eV
STEM分辨率@30 keV0.7 nm0.6 nm0.3 nm
FIB制备过程最大材料去除束流65 nA100 nA65 nA
最终最优抛光电压2 kV500 V
TEM样品制备样品厚度50 nm15 nm7 nm
自动化否是是
样品处理行程110×110×65 mm110×110×65 mm150×150×10 mm100×100×20 mm100×100×20 mm+5轴（S）TEM Compustage
快速进样器手动自动手动自动自动+自动插入/提取STEM 样品杆
材料科学行业技术参数：
Helios5CXHelios5UX离子光学
具有卓越的大束流性能的TomahawkHT离子镜筒具有卓越的大束流和低电压性能的Phoenix 离子镜筒离子束电流范围
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