产品优势
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务
技术介绍
离子镜筒"承影"
技术特点
分辨率：3nm@30kV
探针电流：1pA~50nA
加速电压范围：500V~30kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
仓内安装方式
三轴全压电驱动
步进精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35mm
重复定位精度≤10um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式
离子束-电子束协同
