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应力双折射测量仪
2024-07-13 12:08IP属地 广东110询价
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面议 |
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| 品牌 |
PhotonicLattice |
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产品详情
在PA系类设备的基础上,加装晶圆专用的装置,可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。
应力双折射测量仪主要特点:
操作简单,测量速度可以快到3秒。
视野范围内可一次测量,测量范围广。
更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。
具有多种分析功能和测量结果的比较。
维护简单,不含旋转光学滤片的机构。
高达2056x2464像素的偏振相机。
应力双折射测量仪应用领域: SIC
蓝宝石
应力双折射测量仪技术参数: 项次 项目 具体参数1 输出项目 相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】
2测量波长520nm
3双折射测量范围0-130nm
4测量最小分辨率0.001nm
5测量重复精度<1nm(西格玛)
6视野尺寸40x48mm到240x320mm(标准)
7选配镜头视野不适用
8选配功能 实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制