FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪_光学仪器_仪器设备_供应

FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。

大多数厚度0–1000nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

FS-1这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪

和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

ngstyle="font-weight:bold;">主要特点

?4个LED光源：蓝色（465nm），绿色（525nm），黄色（580nm），红色（635nm）

?椭偏仪探测器中无可移动部件

?膜厚精密性，大多数样品精密度优于0.001nm（1秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

?集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑

ngstyle="font-weight:bold;">优势

?寿命长（长达50,000小时），更换LED灯便宜，校准时间短或无需PM程序

?快速测量（10ms内获得多波长数据）和长期性能稳定

?测量准确，只有椭偏仪可以实现

?软件设置和维护简单

ngstyle="font-weight:bold;">标准FS-1配置

?65°入射角

?手动放置样品和调节高度

?样品尺寸最大直径200mm和厚度23mm

?样品偏转范围+/-20

?样品上光束尺寸5x12mm

?结构紧凑(180x400mm)和轻巧(4.8kg)

性能

FS-1多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围0-1000nm的透明单一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多层膜样品，FS-1获得的标准测量精密度和准确性数据。

FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪