在线椭偏仪In-situseries

仪器介绍：
在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。
 
技术参数：
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
 
主要特点：
将激发和探测头引入生产设备，可实现:
·动态模式:实时监测膜厚变化
·光谱模式：监测薄膜的界面和组分