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SE-i光谱椭偏仪
2024-07-13 12:13IP属地 广东20询价
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颐光科技 |
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产品详情
一、概述SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀
膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化
开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。
二、测试案例ngstyle="color:rgb(63,63,63);font-family:宋体,SimSun;font-size:12px;white-space:normal;">实时监测成膜工艺ngstyle="color:rgb(63,63,63);font-family:宋体,SimSun;font-size:12px;white-space:normal;">实时膜厚表征三、产品应用■ 广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。
