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真空紫外椭偏仪
2024-07-13 12:14IP属地 广东40询价
| 价格 |
面议 |
| 发货 |
广东东莞市预售，付款后7天内
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| 品牌 |
HORIBA科学仪器事业部 |
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该产品库存不足 |
产品详情
专为VUV测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。产品特点50KHz高频PEM相位调制技术
45秒内完成充氮气
2分钟内完成样品室抽真空
8分钟内完成光谱全谱范围内测量
两种工作模式：氮气清洗结合抽
真空、连续氮气清洗
光谱范围：147nm~850nm；147nm~2100nm
重点应用领域超薄膜
157nm光刻新材料
有机材料、高分子材料
高k材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂层
半导体和介电材料电子跃迁
MgF2、CaF2、LaF3
