是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构,可以高自由度的对光波进行调控和操纵,因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。 微透镜阵列(MicrolensArray,MLA) 是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列,因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。
衍射光学元件(DiffractiveOpticalElements,DOE) 是基于光的衍射效应而设计的光学元件,核心是对光的相位进行调制,需要高分辨率的相位测量。
MetronLens超构透镜光学检测系统在以上领域的应用得益于如下几个创新点ngstyle="text-indent:1.8em;">:
1 毫秒级相位检测:MetronLens基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明专利和离轴外差干涉技术,在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测,相位分辨率最小可达50mrad;
2 高空间分辨率:采用优异光学设计,结合大NA(大于0.75)高倍率的成像系统和高像素数探测器,确保大视场下空间分辨率可达0.6μm;
3 高精度z轴扫描:配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现0-24mm行程的光场扫描,z轴扫描定位精度最小可达到1μm;
4 可扩展性强:系统配件激光路由器,支持扩展外部激光光源,包含3路空间光和1路光纤,可满足多样化的波段测试需求。
注:以上参数如有差异,以官网为准。
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