飞秒微加工系统Sabray 包括免维护工业级别fs激光器系统和高稳定性模块化设计激光加工模组，系统采用独特的花岗石龙门支架结构设计可以保证系统优良的加工稳定性。系统配置快速移动、nm运动精度和高达600mm行程范围的运动平台，使得系统在大幅面超精细处理领域有着非凡的能力。另外根据客户不同加工需求，可选择扫描振镜、长工作距离显微物镜或者螺旋钻孔系统以及真空环境样品室等，在超快激光刻蚀、表面处理和表面3D雕刻、触摸屏和ITO切割以及金属、合金、半导体、陶瓷等多种材料的钻孔和切割等领域都有着十分出色的应用。
飞秒微加工系统Sabray技术参数：
