TMC主动隔振平台STACISIII是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电执行器，通过连续测量地板活动，然后扩展和收缩压电执行器以滤除地板运动，实时消除振动。STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施,和材料研究。STACISIII包括一个新的和改进的数字控制器DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在全球有数百个成功安装案例，是对振动最敏感的仪器的理想隔振系统。
特点&优点
STACIS的刚度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬挂，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过充分优化。
独特的串行设计和专有的高压压电技术 产生了从0.6Hz到150Hz的宽主动带宽和无与伦比的真正主动隔振，从2Hz开始减振90%。
性能：
4500lbs(2045kg)有效载荷在VC-C（500μin./s，12.5μm/sRMS）下通过模拟振动测试
aseline;margin:10px0px;padding:0px;white-space:normal;background-color:rgb(255,255,255);">性能规格aseline;margin:0px;padding:0px;color:rgb(20,20,20);white-space:normal;background-color:rgb(255,255,255);">aseline;margin:0px;padding:0px;">aseline;margin:0px;padding:0px;"class="firstRow">活动自由度6aseline;margin:0px;padding:0px;">活动带宽0.6赫兹-150赫兹aseline;margin:0px;padding:0px;">无源固有频率18Hz垂直和水平aseline;margin:0px;padding:0px;">有效有源谐振频率0.5赫兹aseline;margin:0px;padding:0px;">1Hz时的隔离40%-70%aseline;margin:0px;padding:0px;">≥2Hz时的隔离≥90%aseline;margin:0px;padding:0px;">10lb(4.5kg)阶跃输入后的稳定时间（10:1减少）0.3秒aseline;margin:0px;padding:0px;">内部噪音<0.1纳米RMSaseline;margin:0px;padding:0px;">每个隔离器的工作负载范围低容量：400-1100磅（182-500千克）中容量：900-2100磅（410-955千克）高容量：1900-4500磅（864-2045千克）aseline;margin:0px;padding:0px;">刚度（1000磅/454千克质量，中等容量隔离器）40,000磅/英寸。(73x10 aseline;margin:0px;padding:0px;position:relative;top:-0.5em;">5牛/米)aseline;margin:0px;padding:0px;">从隔离器最大4英寸（102毫米）处发射的磁场<0.02μG宽带RMS
