概述STACIS®4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。
起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。
STACIS4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。
STACIS4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense™专*技术相结合时，STACIS4在2Hz时可减少60dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。
STACIS4的优点：STACIS4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。
独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2Hz至150Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。
比STACISIII更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS4将2Hz的振动控制提高了60dB以上。
稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS4允许两级振动控制设计，可以在STACISIII系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。
STACIS4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。
性能在VC-C(500μin/s,12.5μm/sRMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。
性能规格主动减振自由度6
主动减振频段0.2Hz-150Hz
被动固有频率被动弹性体：18Hz 主动谐振：0.5Hz
有效主动谐振频率0.35Hz
在1Hz的减振85%-96%
在2 Hz的减振96-99.9%
稳定时间（典型）0.2 秒
内部噪音＜0.05nmRMS
单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100lb（182-500kg）中负载：900-2100lb（410-955kg）高负载：1900-4500lb（864-2045kg）
刚度 40,000lb/in.(73x105 N/m)（1000 lb /454 kg 重量，以中负载的隔振器为例）
磁场强度＜0.02μg 宽频 RMS
隔离器尺寸、环境和使用要求 环境与安全通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准
主动隔振单元压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷
被动隔振单元单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）
振动传感器检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号
主动反馈控制回路在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减
隔振器尺寸（宽x深x高）11.75×12.5×10.8in.300×320×275mm
隔振器重量75lb（34kg）
操作温度50°-90°F10°-32°C
储存温度-40°-130°F-40°-55°C
湿度华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃
系统电源要求100,120,230,240VAC50/60HzAC;<600WCE认证
每个系统的隔振器数量最少3个
选项层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等
DC-2020 控制器规格尺寸（宽×深×高）19×8.5×1.75in.483×216×45mm
重量6.3lb（2.9kg）
处理器150/75MHz双核
采样率10kHz
模拟输出16频道
模拟输入16频道
状态指示灯单个LED灯
前面板端口1个串行USB2.01个串行Micro-USB1个EthernetRJ-452个BNC
后面板端口1个串行USB2.01个EthernetRJ-451个RS-232DB-9系列，用于STACIS2100隔振器
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