三甲基乙氧基硅烷沸点为76.0 °C。该物质的其他信息:
英文名是Ethoxytrimethylsilane,CAS号是1825-62-3,分子式C5H14OSi,分子量是118.25,它的InChIKey是RSIHJDGMBDPTIM-UHFFFAOYSA-N。
蒸汽压力是114.79 mmHg。