CIF扫描电镜等离子清洗机_光学仪器_仪器

CIF-SEM

CIF扫描电镜等离子清洗机核心参数

射频功率

5-150W

产品特点

CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于 SEM 或 FIB 等腔体内碳氢化合物的清洗。

产品特点

◆ 远程离子清洗源

◆ 清洗快速、高效

◆ 低轰击损伤

技术参数

产品型号	CIF-SEM
法兰接口	KF40（CF40）
工作气压	0.3-3Pa
等离子电源	13.56MHz 射频电源，射频功率 5-150W 可调
等离子电源	远程等离子源，自动匹配器
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源 / 功率	AC220V，50/60Hz，300W
可选配件	可选氧气、氮气、氢气发生器，氢气纯度﹥ 99.999％，输出流量 0-500SCCM
质量保证	二年质保，终身维护
产品尺寸	L320xW385xH465mm
包装尺寸	L440xW535xH725mm
整机重量	25