详细介绍
Ecopia科研用小型磁控溅射镀膜机 - 极高性价比！
型号：AP-MMS1
产地：韩国原装进口
仪器特点：
1/ 沉积材料：金属；
2/ 膜厚均匀性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；
3/ 沉积方式：直流磁控溅射；
4/ 极限真空：1.0 x 10 -3 Torr；
技术规格：
1/ 最大样品尺寸：4英寸；
2/ 基底旋转：0~10rpm；
3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；
4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；
5/ 靶枪：2英寸直径 (选配：3英寸)；
6/ 直流电源：2KW(800V - 2.5A)；
7/ 气体传输模块：MFC控制，氩气，100sccm；
