扫描电镜专用原位AFM探测系统_光学仪器_仪器

AFSEM

产品特点

* 扫描电子显微镜中进行AFM原位分析

* 使用SCL的自感悬臂技术的纳米探针

* 无需激光和探测器，适用于任何样品表面

* 与大多数SEM兼容而不妨碍正常的操作

* AFM和SEM协同并行分析

详细介绍

AFSEM™ —使AFM和SEM合二为一

奥地利GETec公司发布的AFSEM是一款紧凑型，适用于真空环境的AFM产品，能够轻松地结合两种大的分析技术—AFM和SEM为一体，扩展SEM样品成像和分析能力。AFSEM技术与SEM技术的结合，使得人们对微观和纳米新探索新发现成为可能。

SEM结合AFMwan美解决方案：

* 扫描电子显微镜中进行AFM原位分析

* 使用SCL的自感悬臂技术的纳米探针

* 无需激光和探测器，适用于任何样品表面

* 与大多数SEM兼容而不妨碍正常的操作

* AFM和SEM协同并行分析

扫描电子显微镜中进行原位AFM分析

AFSEM技术实现了AFM和SEM的功能性互补，让SEM可以同时实现样品的高分辨率成像，真实的三维形貌，高度，距离测量，甚至是材料的导电性能。做到这一点只需要将AFSEM悬臂探针的位置移动到SEM下需要观察的样品位置进行探测。优化的AFSEM工作流程(几乎没有减少SEM的扫描时间)确保了效率。提供的强大控制软件则允许进行优化和直观的测量、系统处理和数据分析。

将AFSEM集成到一个Zeiss Leo 982扫描电子显微镜中(左)，对样品表面进行扫描成像(右)，对样品表面进行扫描。当在AFM和SEM成像之间交替时，不需要转移样品或打破真空。使用AFSEM，一切都可以进行内联！

SEM-AFM 协同分析

对于产品或材料分析，通常需要用多种技术分析一个样品或者同一个器件，并寻找参数之间的相关性。如果样品需要使用SEM和AFM这两种的成像技术，就意味着我们需要找到感兴趣的区域并定位它，再拿到另一个设备中寻找这个感兴趣的区域，才能实现对同样的区域进行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面来的简单呢？


对无支撑石墨烯和石墨烯相关材料进行扫描电镜和AFM原位分析。在低电压扫描电子显微镜下，我们可以对一个悬空的石墨烯薄片的样品进行成像，以确定层数和厚度(a)。然后，利用AFM(b+c)实现更高的分辨率和更好的对比度。

扫描电镜图像(A)、放大的图像(B)和相关的AFM成像(C)，测量结果来自FEI Quanta 600 FEG ESEM。

AFSEM可与大多数SEM兼容

AFSEM适用于大多数SEM或双光束(SEM/FIB)系统。可以直接安装在系统腔室的仓门上，同时样品台保持不变。此外，AFSEM采用一种自感应悬臂探针，无需激光与传感器。 AFSEM在电镜中，夹持探针的悬臂梁只需要极靴与样品之间4.5毫米的空间。因此，AFSEM可以与各种标准的SEM兼容，GETec公司能够处理任何兼容SEM系统真空腔内的安装。也正是这种优雅小巧的设计使得扫描电子显微镜能够配合AFM技术实现的亚纳米级的形貌探测。