详细介绍
样品传输系统为模块式，便于组合
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
内槽
技术规格
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
内槽
技术规格
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型号 |
YSP600U |
YSP2KU |
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模式 |
RIE（DP模式选购） |
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高频输功率 |
600W |
2000W |
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反应台尺寸 |
W300×D300mm |
W600×D600mm |
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反应气体 |
2进气系统（氧气、氩气） |
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反应气体流量控制 |
质量流量控制器 |
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气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
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