半导体封装材料I-V测试系统与探针台

真空探针台

型号:HuaceZ600-D

精密小巧按需定制集成化设计性能稳定

测试类型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε测试

搭配仪器：源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪、

腔体:高真空腔体

样品台尺寸:4英寸

样品固定:弹簧压片

观察窗口:6英寸

观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透过性）

真空度:2帕

探针臂接口:4个探针臂接口

电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10KV*1

辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2

制冷方式:液氮

温度范围:-196℃~600℃

温控精度:±0.1℃

稳定性:-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃

外形:650mm长*650mm宽*460mm高

重量:约100千克

光学系统

显微镜类型:单筒显微镜

放大倍率:20X-180X

移动行程: X轴行程100MM  Y轴行程50MM  Z轴行程50mm

光源:外置LED环形光源

CCD:2800万像素

显示器:10寸LED

探针臂

X-Y-Z移动行程:20mm*20mm*20mm

结构:外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度:10微米

探针组件

线缆:同轴线

接头类型:SMA

漏电精度:10fA

固定探针:夹紧固定

频率支持:DC-67GHZ

针尖直径:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

高压组件

线缆:高压电缆10KV

接头类型:香蕉头

其他组件

真空组件:机械泵

冷源组件:10L液氮罐