高速扫描电子显微镜

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规格书 

关键参数 

分辨率     1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 

         1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；

加速电压  100V~6kV(减速模式)6kV~30kV(非减速模式) 

放大倍率   66~1,000,000x 

电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 

物镜类型   浸没式电磁复合物镜 

样品装载系统 

真空系统  全自动控制，无油真空系统 

样品监控  样品仓监控水平摄像头；换样仓监控垂直摄像头

样品最大尺寸   直径4英寸 

样品台 

类型     电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） 

行程     X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；

重复定位精度   X轴：±0.6um；Y轴：±0.3um 

换样方式  全自动控制 

换样时间  ＜15min 

换样仓清洗    全自动控制等离子清洗系统 

图像采集与处理 

驻点时间  10ns/pixel 

图像采集速度   2*100Mpixel/s 

图像大小  8K*8K 

探测器和扩展 

标配 

镜筒内混合电子探测器 

选配

低角度背散射电子探测器 

镜筒内高角度背散射电子探测器 

压电驱动样品台 

高分辨大场模式

样品仓等离子清洗系统 

6英寸样品装载系统

主动减震台 

AI降噪；大图拼接；三维重构 

软件 

语言 中文 

操作系统Windows 

导航光学导航、手势快捷导航 

自动功能自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

服务

扫描电子显微镜实验室 

我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。