高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像
独特的三透镜大视野观察(WideFieldOptics™)设计提供了多种工作与显示模式
独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”,它以电磁方式有效地改变物镜光阑
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-FlightBeamTracing™),可模拟和优化电子束
可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像
电镜的全自动设置
成像速度快
使用3维电子束技术,实时得到立体图像,三维导航
多语言操作界面
多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快
图片管理,报告生成
内置的系统检查与系统诊断
网络操作与远程进入/诊断
模块化软件体系结构
标准软件包括了测量、图像处理、对象区域,等模块
可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建,等模块
特大样品室定制版



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