Verios的生命科学应用
观测敏感的生物样本时,过高的成像电压带来的电子束会损伤样本,从而无法在细胞研究中观测关键细节。VeriosXHR扫描电子显微镜(SEM)最低可在1kV的电子束电压下工作,因而能最大限度减少样本干扰,同时又不会削弱分辨率和对比度。生物研究人员现在可以处理大量敏感的生物样本,并迅速生成高分辨率图像,从而洞察细胞器的关键功能和过程。
VeriosXHRSEM优势
全新的高对比度检测器-对敏感的生物样本进行最佳成像
电子束减速-在极低的电压下提供高分辨率成像和高表面灵敏度
电子束熄灭装置-限制敏感的生物样本的剂量
静电扫描-最大限度减少图像失真,并改善成像速度,从而进一步提高工作效率和质量
Verios的电子工业应用
VeriosXHRSEM推出了全新的检测器硬件,将SEM的观测能力进一步拓展至20nm亚纳米量级半导体器件。Verios可提供最佳的低电压SEM分辨率和材料对比度,能够让半导体工艺控制实验室测量对电子束敏感的材料以及无法使用传统SEM仪器成像的极小结构。 Verios还包括一些易于使用的新功能,能够为22nm技术节点及以下的半导体结构提供最低的每样本成像和测量成本。
Verios的材料科学应用
对材料科学家来说,Verios可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料(例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构),从而让他们获得重要的新发现。无需转而采用TEM或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios可灵活用于各类研究应用,能够容纳全尺寸晶圆或冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析,也可以开展精确的原型设计应用,例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。



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