美国FEI扫描电镜Helios5CX_显微镜_光学设备_仪器设备_供应

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美国FEI 扫描电镜Helios5CXDualBeam

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DualBeamTM技术的突破性创新–更快速、更简单

Helios5CXDualBeam结合ThermoScientific™AutoTEM™5软件，实现全自动原位TEM制样。帮助不同经验水平用户获取最高质量结果，制样

无需值守从而显著提高工作效率。

使用Helios5CXDualBeam系统和AS&V4软件制备样品表面用于三维数据采集。

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主要优势

。TomahawkHT离子镜筒实现高质量、定点TEM和APT制样

。可选AutoTEM5软件，实现最快、最简单、全自动、无人值守、多点原

位和非原位TEM样品制备和横截面加工

。最佳Elstar电子镜筒搭载SmartAlign和FLASH技术，可为任何经验

水平的用户在最短时间内获取纳米尺度信息

。多达6个集成化镜筒内及透镜下探测器，采集优质、锐利、无荷电图

像，提供最完整的样品信息

。可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取最高质量、多模态内部

和三维信息

。小于10nm复杂结构的快速、准确、精确加工和沉积

。高灵活度110mm样品台和样品仓Nav-Cam相机实现最简单样品处

理和导航

。集成化样品清洁管理和专用的DCFI和ThermoScientific

SmartScan™等模式实现无伪影成像

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">最高分辨成像并获取最精确的材料衬度

Helios5CXDualBeam系统采用超高亮度电子枪，配置全新一代UC+单色器技术，在电子束流高达100pA条件下可将电子束能量扩展降至0.2eV以下，因而可在低着陆能量下实现亚纳米分辨率和最高表面灵敏度。创新的Elstar电子镜筒为系统的极高分辨率成像性能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，系统可在最广泛的工作条件下提供最出色的纳米级细节。独特镜筒内三重检测技术和浸没式模式可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或是观察样品截面，都可确保快速获取最详细的纳米级信息。附加的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。Elstar镜筒拥有多项独特设计可快速获取准确且可重复的结果，如恒定功率透镜（获得更高热稳定性）和静电扫描（提供高偏转性度和速度）。

Helios5CXDualBeam引入创新的SmartAlign技术，无需再手动进行电子镜筒对中，不仅极大程度减少了系统的维护工作量，而且提高了操作人员工作效率。通常，观察不同材料要获取最佳结果，都需要进行电子束精调，精调步骤一般包括聚焦、透镜居中和消像散等，精调的过程既困难又耗时。步骤一般包括聚焦、透镜居中和消像散等，精调的过程既困难又耗时。为了解决这个问题，Helios5CXDualBeam引入了新的精细图像调节功能FLASH技术。借助FLASH技术，您只需要在图形用户界面中执行简单的鼠标操作即可，该过程类似于对图像进行聚焦，系统则“实时”进行消像散、透镜居中和图像聚焦。平均而言，FLASH技术可以使获得优化图像所需的时间最多缩短10倍。

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">最高质量内部和三维信息

内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质，Helios5CX DualBeam系统选配ThermoScientic™AutoSlice&View™4软件，以最高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维BSE图像提供最佳材料衬度，三维EDS提供成分信息，而三维EBSD提供显微结构和晶体学信息。结合ThermoScientic™Avizo™软件，Helios5CXDualBeam系统，系统可为纳米尺度的最高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">真实环境条件的样品原位实验

Helios5CXDualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观表征需求而设计，可配置全集成化、极快速MEMS热台μHeater，在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活性和控制能力，以及用于定制自动化的Thermo Scientic™AutoScript4™软件，成为最先进的DualBeam系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">电子光学

•Elstar超高分辨场发射扫描镜筒，配有：

–浸没式电磁物镜

–高稳定性的肖特基场发射电子枪，用于提供稳定高分辨率分析电流

•SmartAlign：自动合轴技术

•带极靴保护的60度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品

•自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔

•静电扫描，提高偏转线性度和速度

•ThermoScientific™ConstantPower™透镜技术，获得更高热稳定性

•集成快速电子束闸*

•电子束减速，样品台偏压0V到-4kV*

•电子源寿命至少12个月

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">电子束分辨率

•在最佳工作距离下：

–30kV下STEM0.6nm

–15kV下0.6nm

–1kV下1.0nm

–1kV下0.9nm(电子束减速模式)*

•在束重合点：

–15kV下0.6nm

–1kV下1.5nm(电子束减速模式*及DBS探测器*）

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">电子束参数

•电子束流范围：0.8pA-176nA

•加速电压范围：200V-30kV

•着陆能量范围：20eV*-30keV

•最大水平视场宽度：4mm工作距离下为2.3mm离子光学

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">TomahawkHT离子镜筒，卓越的大束流性能

•离子束流范围：1pA–100nA

•加速电压范围：500V-30kV

•两级差分抽吸

•飞行时间（TOF）校准

•15孔光阑

•最大水平视场宽度：在束重合点处为0.9mm

•离子源寿命至少1,000小时

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">离子束分辨率（在重合点处）

–30kV下4.0nm（采用首选统计方法）

–30kV下2.5nm（采用选边法）

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">探测器

•Elstar透镜内SE/BSE探测系统（TLD-SE、TLD-BSE）

•Elstar镜筒内SE/BSE探测系统（ICD）*

•Elstar镜筒内BSE探测系统（MD）*

•Everhart-Thornley二次电子探测器（ETD）

•样品室红外CCD相机，用于样品台高度观察

•高性能电子及离子探测器（ICE），用于采集二次电子和二次离子*

•样品室内Nav-Cam相机，用于样品导航*

•可伸缩式低电压、高衬度、定向固态背散射电子探测器（DBS）*

•可伸缩STEM3+分割式探测器(BF、DF、HAADF)*

•集成电子束流测量

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">样品台和样品

高度灵活的五轴电动样品台：

•XY范围：110mm

•Z范围：65mm

•旋转：360°（连续）

•倾斜范围：-15°到+90°

•最大样品高度：与优中心点间隔85mm

•最大样品质量：任意位置处为500g（包括样品托）；0°倾斜时可达5kg；

•最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）

•同心旋转和倾斜

ngstyle="padding:0px;margin:0pxauto;">真空系统

•完全无油的真空系统

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品牌：	N/A
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

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