原位高温扫描电子显微镜_显微镜_光学设备_仪器设备_供应

产品详情

基本参数

品牌：	祺跃科技
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

浙江祺跃科技公司自主研发的原位高温扫描电子显微镜是世界上第一台实现了1400℃超高温清晰成像，并与原位高温拉伸系统联用的扫描电子显微镜。该原位高温扫描电子显微镜基于新的发展思路、新的设计理念，电镜腔室是目前市场上商业化电镜腔室的两倍容量，突破成像温度，引领原位表征技术，首次实现了原位扫描电子显微镜整机国产化，在高端科学仪器自主研制方面走出了一条自主创新的新路。该产品市场前景广阔，为新材料的研发、“卡脖子”材料问题的解决，提供了优异的国产高端仪器设备。

祺跃科技自主研制的高温扫描电子显微镜具有腔室大、真空度高、兼容性强等特点，突破了传统扫描电子显微镜的局限。自行研制的原位拉伸模块采用超刚性设计，样品更宏观、结构更稳定、性能更优异。自主设计的原位加热器采用两体设计，样品受热更为均匀、温度更稳定，高温成像系统采用独特的结构与电控设计，实现1400℃下的高清晰成像。该系统配有自主研发的二次电子探头在表征样品微观形貌、成分、结构信息的同时，获取样品在力与高温作用下的微观性能特征。

主要功能及特点：

Ø 大尺寸样品室，腔室上方安装极靴屏蔽、真空室屏蔽，减少高温对电子枪的热辐射和挥发物污染

Ø 等离子体清洗模块保证长时间加热表面清洁

Ø 红外热像仦原位监测样品表面和周围部件温度分布

Ø 内置真空相机，实时记录原位操作过程

1000℃以上高质量高温成像二次电子探测器

Ø 超大结构SEM样品舱室和超高真空系统设计开发

SEM原位超高温（1500℃）加热器

5000N以上原位大应力（样件级）拉伸台

Ø 超高温加热SEM防护系统

Ø 多源分析测试数据高精度采集与集成

产品的核心技术指标

及产品特点：

SE分辨率：3nm@30kV（常温状态），10nm@30kV（加热器温度1400℃时）；

Ø 电子枪：肖特基场发射电子枪；

Ø 加速电压范围：200kV-30kV，连续可调；

Ø 最大束流：200nAx349mm（宽）；

Ø 腔体尺寸：650mm（宽）*365mm（深）*349mm（高）；

Ø 腔门尺寸：650mm（长）*349mm（宽），大开门设计；

Ø 样品台承重：25kg；

Ø 样品台行程：X60mm、Y60mm、Z27mm；

Ø 分子泵抽速：665L/s；

1、控制器：

Ø 模块化功能单元设计；

Ø 高精度线性放大、24位AD转换模块；

Ø 数字化高速位移采集接口；

Ø 数字化驱动器，电磁兼容性强；

Ø 高效隔离加热电源，输出纹波小；

Ø 驱动双闭环反馈，响应灵敏；

Ø 全自动散热系统。

2、软件功能：

Ø 界面简洁，功能丰富；

Ø 数据高速存储，实时显示；

Ø 位移、力PID闭环控制

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