✬高性能离子溅射、蒸发镀碳和等离子处理
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✬一流的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置,可兼容不同尺寸的样品
✬主动冷却的溅射头可确保镀膜质量并延长连续运行时间
SP-010和SP-011溅射模块具有有效的主动冷却功能,连续喷涂时间长,非常适合需要较厚膜的应用。可选多种溅射靶材,适合SEM等导电薄膜应用。
SP-010溅射装置的磁控组件旨在优化靶材使用。这使其成为电子显微镜中精细颗粒贵金属镀膜的理想工具。对于极细颗粒尺寸镀膜,推荐使用涡轮泵抽真空的CCU-010HV版本。
SP-011溅射装置的磁控组件用于大功率溅射和宽范围材料的镀膜。对那些比常规EM应用要求镀膜速率更高、膜层要求更厚的薄膜应用时,推荐使用该溅射头。
◎创建和调用配方
◎实时图表,包含导出功能(Excel、png等)
◎自动连接到设备



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