✬高性能离子溅射、蒸发镀碳和可选的等离子处理
✬专有的
✬独特的即插即用溅射和蒸碳镀膜模块
✬一流的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置,可兼容不同尺寸的样品
✬主动冷却的溅射头可确保镀膜质量并延长连续运行时间
CCU-010HV系列高真空镀膜仪涵盖了最高级的SEM、TEM和薄膜应用。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。两个附加的标准真空法兰允许连接第三方设备。
SP-010和SP-011溅射模块具有有效的主动冷却功能,连续喷涂时间长,非常适合需要较厚膜的应用。可选多种溅射靶材,适合SEM、FIB和各种薄膜应用。
SP-010溅射装置的磁控组件旨在优化靶材使用。这使其成为电子显微镜中精细颗粒贵金属镀膜的理想工具,也适合于极细颗粒尺寸镀膜。
SP-011溅射装置的磁控组件用于大功率溅射和宽范围材料的镀膜。对那些比常规EM应用要求镀膜速率更高、膜层要求更厚的薄膜应用时,推荐使用该溅射头。SP-011
◎创建和调用配方
◎实时图表,包含导出功能(Excel、png等)
◎自动连接到设备



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