徕卡高真空镀膜仪LeicaEMACE600

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徕卡高真空镀膜仪

在电子显微镜领域，往往需要对样品进行表面镀膜从而使样品表面成像或图像质量得到改善。在样品表面覆盖一层导电的金属薄膜可以消除荷电效应，降低电子束对样品的热损伤，并可以提高SEM对样品进行形貌观察时所需的二次电子信号量。精细的碳膜具有电子束透明且导电的特性，因而常应用于X射线微区元素分析，制备网格支持膜，以及制备适宜于TEM观查的复型。需要怎样的镀膜技术取决于分辨率和应用需求。LeicaEMACE镀膜仪家族提供在各应用领域所需的键膜解决方案。

LeicaEMACE600 是一款多功能型高真空镀膜系统，用于制备超薄，细颗粒的导电金属膜和碳膜，以适用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的镀膜要求。这一款全自动台式镀膜仪，包含内置式无油真空系统、石英膜厚监控系统和马达驱动样品台（旋转为标配，倾斜和高度马达驱动为选配）。

徕卡高真空镀膜仪可以配置如下镀膜方式:

★★★金属溅射镀膜

★★★ 碳丝蒸发镀膜

★★★ 碳棒蒸发镀膜（带有热阻蒸发镀膜选配件）

★★★ 电子束蒸发镀膜

★★★ 辉光放电

★★★ 连接VCT样品交换仓：

     与徕卡EMVCT配套实现冷冻镀膜，冷冻断裂，双复型，冷冻干燥和真空冷冻传输