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更新 2024-07-13 11:51
 
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泰思肯

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广东 东莞市

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详细说明
ngstyle="background-color:transparent;color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif;font-size:24px;font-style:normal;font-variant:normal;font-weight:700;letter-spacing:normal;orphans:2;text-align:center;text-decoration:none;text-indent:0px;text-transform:none;-webkit-text-stroke-width:0px;white-space:normal;word-spacing:0px;">

TESCANSOLARIS新一代超高分辨镓离子FIB-SEM



TESCANSOLARIS 是一款镓离子源的FIB-SEM系统,适用于超薄TEM样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务,这些任务要求设备具有最佳的分辨率、最先进的离子光学系统和最好的纳米加工能力。


TESCANSOLARIS的Triglav™型SEM镜筒具有超高的分辨率,特别是在低电压下;镜筒内探测器系统具有电子信号过滤能力,为获得更好的图像衬度和表面灵敏度翻开了全新的篇章。TESCANSOLARIS的Orage™型FIB镜筒保证了出色的低电压离子束分辨率和微加工性能,可以满足制备小于20nm的、最佳质量的半导体器件超薄TEM样品的需要。此外,高达100nA的大离子束流可以对生物样品和材料进行指定位置的、大体积FIB-SEM逐层扫描,图像也具有出色的衬度。


TESCANSOLARIS 使用了全新的Essence™软件,软件用户界面友好,可以满足各类应用需求,可定制的软件布局以及自动化的样品制备功能,最大限度地提升了操作便捷性和工作效率。


TESCANSOLARISGaFIB-SEM突出特点:


1.可选择性采集能量过滤后的电子信号,获得更好的表面灵敏度和衬度

2.离子束流变化范围大,满足不同精度、体积要求的样品加工任务

3.最低电压可达500eV,能够获得小于20nm且具有极高品质的超薄TEM样品

4.FIB-SEM层析成像的同时,可获得EDS和EBSD数据,快速进行3D超微结构研究和微量分析表征


mportant;word-wrap:break-word;orphans:2;font-size-adjust:none;font-stretch:100%;float:none;-webkit-text-stroke-width:0px;background-color:rgb(255,255,255);">TESCANSOLARISGaFIB-SEM主要优势: 

*更加优秀的成像能力
新一代Triglav™镜筒中的镜筒内探测器系统经过进一步优化,信号检测效率提高了三倍以上。此外,该系统还扩展了检测能力,能够采集能量过滤后的轴向背散射电子信号,通过选择性地收集低损耗背散射电子来获得更好的衬度和表面灵敏度。


*世界一流的样品制备质量

Orage™FIB镜筒采用先进的离子光学设计,在整个电压范围内均可以保证优秀的分辨率,同时还可以提供多种样品制备条件。低电压下的出色性能使得该FIB镜筒可以执行最具挑战性的纳米加工任务,它可以在低电压下完成最后抛光并获得小于20nm且具有极高品质的超薄TEM样品。

*增强的表面灵敏度、衬度

新一代Triglav™镜筒具有电子信号选择检测功能,这一功能可以帮助用户获得更好的表面灵敏度并能够获得不同的衬度。图像中可以体现形貌或是材料成分,也可以同时体现这两者,以便用户能够在最短时间内最大限度地观察样品。


*最大限度地制备各类样品

Orage™镜筒能够产生高达100nA的离子束流,同时保证离子束的质量。因此,无论是在低离子束流下制备精密的纳米结构,还是利用高离子束流以满足大体积蚀刻的要求,Orage™镜筒无与伦比的多功能性都可以满足该类应用需求。


*保证最佳的分析条件

新一代Triglav™镜筒还具有自适应束斑优化功能,可以提高了大束流下的分辨率,这一特点有利于更好的进行EDS、WDS和EBSD等分析。此外,肖特基场发射电子枪能够产生高达400nA的电子束流,电压也可以快速改变并保证在所有的分析应用下都能够获得良好的信号;在进行大离子束流加工时,也可针对不导电试样进行电荷中和。 


*更充分的利用离子束

快速、高效、高性能的气体注入系统(GIS)对于所有FIB应用都是必不可少的。新一代OptiGIS™单支气体注入系统具备了所有的这些特性,TESCANSOLARIS可配备多达6支OptiGIS。您也可以选择集成了5支同轴喷嘴的气体注入系统,实现更多样化的功能。此外,我们还可以提供不同的特殊气体和实用的平面IC去层方案。


*快速三维分析功能

新型强化的镜筒内探测系统结合高达100nA的大离子束流,可实现快速数据采集,用于3D超微结构研究和3D微量分析表征。在FIB-SEM层析成像过程中,能够同时获得EDS和EBSD数据,并通过专用软件进行三维重构,为生命科学或纳米材料研究者提供独特的视角和结果。 


ngstyle="background-color:transparent;color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif;font-size:16px;font-style:normal;font-variant:normal;font-weight:700;letter-spacing:normal;margin-bottom:0px;margin-left:0px;margin-right:0px;margin-top:0px;orphans:2;text-align:left;text-decoration:none;text-indent:32px;text-transform:none;-webkit-text-stroke-width:0px;white-space:normal;word-spacing:0px;">*轻松实现最高精度和最佳FIB性能

Orage™型FIB镜筒配有超稳定的高压单元和精确的压电驱动光阑变换器,可在FIB预设的参数上快速且高精度的重复切换。此外,半自动的束斑优化向导允许用户轻松选择最佳的束斑,优化特定应用下的FIB条件。


*TESCANSOLARIS是S9000G升级机型。

nclass="wx96Diy"style="background-color:transparent;color:rgb(0,0,0);cursor:text;font-family:sans-serif;font-size:16px;font-style:normal;font-variant:normal;font-weight:400;height:237.4px;letter-spacing:normal;margin-bottom:0px;margin-left:0px;margin-right:0px;margin-top:0px;orphans:2;padding-bottom:0px;padding-left:0px;padding-right:0px;padding-top:0px;text-align:left;text-decoration:none;text-indent:0px;text-transform:none;-webkit-text-stroke-width:0px;white-space:normal;word-spacing:0px;word-wrap:break-word;"data-source="bj.96weixin.com">nstyle="padding-bottom:5px;padding-left:5px;padding-right:5px;padding-top:5px;">nstyle="box-shadow:0px0px12.8pxrgb(165,165,165);box-sizing:border-box;height:227.4px;overflow:hidden;padding-bottom:16px;padding-left:16px;padding-right:16px;padding-top:16px;">nclass="96wx-bdtc"style="border-top-color:rgb(7,116,141);border-top-style:dashed;border-top-width:1.6px;font-size:16px;height:137.12px;line-height:22.4px;margin-left:0px;margin-right:0px;margin-top:-16px;overflow:hidden;padding-bottom:0px;padding-left:8px;padding-right:8px;padding-top:24px;width:646px;">


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