赛默飞（原FEI）Helios5DualBeam双束扫描电镜_显微镜_光学设备_仪器设备_供应

产品详情

基本参数

品牌：	赛默飞
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

Helios5DualBeam

【产品描述】
新一代的赛默飞世尔科技Helios5DualBeam具有Helios产品系列业界领先的高性能成像和分析性能。它经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师最广泛的FIB-SEM使用需求。
Helios5DualBeam重新定义了高分辨率成像的标准：最高的材料衬度，最快、最简单、最精确的高质量样品制备，用于S/TEM成像和原子探针断层扫描（APT）以及最高质量的表面下和三维表征。在HeliosDualBeam系列久经考验的性能基础上，新一代的Helios5DualBeam进行了改进优化，所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的最佳运行状态。

【技术参数

】

半导体行业技术参数：

Helios5CX

Helios5HP

Helios5UX

Helios5HX

Helios5FX

样品制备与

XHR

扫描电镜成像

最终样品制备

(TEM薄片，APT)

STEM

亚纳米成像与样品制备

SEM

着陆电压

eV~30

keV

eV~30

keV

分辨率

0.6

nm@15

keV

1.0

nm@1

keV

0.6

nm@2

keV

0.7nm@1

keV

1.0nm@500

STEM

分辨率@30

keV

0.7

0.6

0.3

FIB制备过程

最大材料去除束流

100

最终最优抛光电压

500

TEM样品制备

样品厚度

自动化

否

是

样品处理

行程

110×110×65

150×150×10

100×100×20

mm+5轴（S）TEM

Compustage

快速进样器

手动

自动

手动

自动

自动+自动插入/提取STEM

样品杆

材料科学行业技术参数：

Helios5CX

Helios5UX

离子光学

具有卓越的大束流性能的TomahawkHT离子镜筒

具有卓越的大束流和低电压性能的Phoenix

离子镜筒

离子束电流范围

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