ThermoScientific™Helios™5LaserPFIB拥有无与伦比的功能,适用于极大体积的三维分析、无镓样品制备和精确的微加工。该产品配备创新型全集成飞秒激光,可在保证最高切割面品质的情况下实现最快的材料去除率,是毫米尺度范围纳米分辨率下最快的高质量表面下和三维表征设备。
飞秒激光PFIB
最大体积:2000×2000×1000μm3
最大束流:~1mA(等效于离子束电流)
切割束流:74μA
束斑尺寸:15μm
激光集成:3束(SEM/PFIB/激光)完全集成在样品室中,并具有相同的重合点,
实现精确、可重复的切割位置和三维表征。
一次谐波:波长1030nm(红外),脉冲宽度<280fs
二次谐波:波长515nm(绿),脉冲宽度<300fs
电子光学:
保护挡板:自动SEM/PFIB保护挡板
软件:
安全性:互锁式激光防护罩(1类激光安全)



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