HORIBASmartSE智能型多功能椭偏仪

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仪器介绍：

多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，精确表征和分析的工具。

技术参数：

·光谱范围：450-1000nm

·多种微光斑自动选择

·光斑可视技术，可观测任何样品表面

·CCD探测器

·自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

·自动调节;Z轴高度>35mm

主要特点：

·一键式操作，直接报告输出

·液晶调制技术，测量光路中无运动部件

·CCD探测系统，快速全谱输出

·多个微光斑尺寸选择，可视技术

·多角度测量

·可实现在线测量配置