美国AST椭偏仪SE200BM_光学仪器_仪器设备_供应

产品详情

基本参数

品牌：	N/A
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

仪器描述

特点：

·易于安装

·基于视窗结构的软件，很容易操作

·先进的光学设计，以确保能发挥出zei佳的系统性能

·能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度

·高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内

·基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

·zei多可测量12层薄膜的厚度及折射率

·能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数

·系统配备大量的光学常数数据及数据库

·对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；

·三种不同水平的用户控制模式：专家模式、系统服务模式及初级用户模式

·灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试

·健全的一键按钮(Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案

·用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量

·系统有着全自动的计算功能及初始化功能

·无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行准确的校准

·可京密的调节高度及倾斜度

·能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片

·各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求

·2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

系统配置：

·型号：SE200BM-M300

·探测器：阵列探测器

·光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

·指示角度变化：手动调节

·平台：ρ-θ配置的自动成像

·软件：TFProbe3.2版本的软件

·计算机：Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器

·电源：110–240VAC/50-60Hz，6A

·保修：一年的整机及零备件保修

规格：

·波长范围：250nm到1000nm

·波长分辨率:1nm

·光斑尺寸：1mm至5mm可变

·入射角范围：0到90度

·入射角变化分辨率：5度间隔

·样品尺寸：zei大直径为300mm

·基板尺寸：zei多可至20毫米厚

·测量厚度范围*：0nm?10μm

·测量时间：约1秒/位置点

·准确度*：优于0.25％

·重复性误差*：小于1?

选项:

·用于反射的光度测量或透射测量

·用于测量小区域的微小光斑

·用于改变入射角度的自动量角器

·X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)

·加热/致冷平台

·样品垂直安装角度计

·波长可扩展到远DUV或IR范围

·扫描单色仪的配置

·联合MSP的数字成像功能，可用于对样品的图像进行测量

应用:

·半导体制造（PR，Oxide,Nitride..)

·液晶显示（ITO，PR，Cellgap.....）

·医学，生物薄膜及材料领域等

·油墨，矿物学，颜料，调色剂等

·医药，中间设备

·光学涂层，TiO2,SiO2,Ta2O5.....

·半导体化合物

·在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

·非晶体，那米材料和结晶硅

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