全自动快速椭偏仪

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全自动化&高集成度&可视化光斑

操作简单，测试快速，为一般操作工人设计

一键式全自动快速椭偏仪AutoSE——新型的全自动薄膜测量分析工具。

采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。

是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

主要特点

1.液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

2.技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

3.反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试

4.全自动集成度高，安装维护简便

5.一键式操作软件，快速简单

6.自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性

技术参数

1.光谱范围：450-1000nm

2.多种微光斑自动选择

3.光斑可视技术，可观测任何样品表面

4.自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节;Z轴高度>35mm

5.70度角入射

6.CCD探测器