多波长椭偏仪

微信扫码

FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪

型号：FilmSenseFS-1™

FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度0–1000nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。

FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。

大多数厚度0–1000nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

FilmSenseFS-1™多波长椭偏仪这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪

和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

主要特点

n4个LED光源：蓝色（465nm），绿色（525nm），黄色（580nm），红色（635nm）

n椭偏仪探测器中无可移动部件

n 膜厚精密性，大多数样品精密度优于0.001nm（1秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

n集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑

优势

n寿命长（长达50,000小时），更换LED灯便宜，校准时间短或无需PM程序

n快速测量（10ms内获得多波长数据）和长期性能稳定

n 测量准确，只有椭偏仪可以实现

n软件设置和维护简单

标准FS-1配置

n65°入射角

n手动放置样品和调节高度

n样品尺寸zui大直径200mm和厚度23mm

n样品偏转范围+/-20

n样品上光束尺寸5x12mm

n结构紧凑(180x400mm)和轻巧(4.8kg)

性能

FS-1多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围0-1000nm的透明单一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多层膜样品，FS-1获得的标准测量精密度和准确性数据。

应用领域

n半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶

n光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2等

n显示屏行业：TCO（如ITO），非晶硅薄膜，有机薄膜（OLED技术）

n数据存储行业：宝石，如碳膜

n工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数）VS工艺条件，可兼容MBE,MOCVD,ALD和磁控溅射等设备

n化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材料吸附

n工业：在线监测和控制膜厚

InSitu在线测量功能

n亚单原子膜厚精密度

n多工艺条件下测定薄膜光学常数n&k和沉积速率，不会破坏真空

n监测和控制多层膜结构沉积

nFS-API界面，外置软件控制（兼容LabVIEW™）

n兼容大多数薄膜沉积技术：磁控溅射，ALD，MBE，MOCVD，电子束蒸发等

InSitu在线测量

产品包括FS-1™多波长椭偏仪，带紧凑自动mapping样品台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。

特点和参数

n4段波长的椭偏数据（465,525,580,635nm），寿命长的LED光源，探测器内无可移动部件

n可对0-1000nm透明薄膜进行准确的厚度测量

n标准浓厚重复性0.015nm

n集成聚焦探针，标准光斑尺寸0.8x1.9mm（其他尺寸可选）

n电动Z轴样品台自动准直

n灵活扫描图案编辑器

n测量参数等值线绘制

聚焦光束选件

 样品上光束尺寸减小到0.8x1.9mm或0.3x0.7mm

聚焦光束检测

聚焦光束检测系统包括一个FS-1多波长椭偏仪，带光束聚焦光学器件和一个手动位移台。该系统非常适合用于手动检测和在图案化半导体晶圆上进行质量控制测量。

 可进行科研测量，带小尺寸光斑和相机成像功能

 手动位移台，可容纳4’，5’，6’晶圆

 样品上光束尺寸0.3x0.7mm

 样品上光束位置视频图像

FS-XY150

n标准晶圆map时间：60s（150mm晶圆上取49个点）

n结构紧凑：600x600mm,16kg

n样品台行程（X,Y）：150x150mm,精度：5μm

FS-RT300

n标准晶圆map时间：90s（300mm晶圆上取49个点）

n结构紧凑：400x500mm,22kg

n样品台行程：R(线性)：150mm,精度：12μm

n角度（旋转）360°，精度：0.1°